半導體再進化，晶片3D量測省時又精準！

EP152 | 【Meet Greater South 特別企劃 07】大南方新創展_半導體再進化，晶片3D量測省時又精準！

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工研院量測中心/ 超能檢測特攻隊 戴鴻名博士 

工研院量測中心/ NanoSeeX 茅穎博士

工研院產服中心/ 智升科技 劉世宗經理

🍸本集節目重點：

✔️ 時刻影響生活！細穿孔製程成晶片必需品

✔️ 透過Ｘ光量測？晶片規格交給NanoSeeX

✔️ 提高晶圓質量！雙雷射高精度測厚儀出世

✔️ 晶片內空間寸土寸金，堆疊整合成新主流

✔️ 更精準快速！3D量測儀還能減少工安疑慮

📍 工業技術研究院

https://www.itri.org.tw/

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